自動(dòng)分選機(jī)是能根據(jù)測(cè)量結(jié)果將被測(cè)件分成合格、正超差、負(fù)超差或?qū)⒑细衿吩俜殖扇舾深悾员氵x擇裝配的自動(dòng)化機(jī)器
1、分選機(jī)的基本組成
分選機(jī)主要是由上料臺(tái)、檢測(cè)系統(tǒng)和分選系統(tǒng)3個(gè)部分組成。其中測(cè)量系統(tǒng)為整臺(tái)設(shè)備的核心部分,它又包含了厚度模組、線痕模組、隱形裂紋模組、臟污模組、邊緣模組和尺寸、翹曲模組。當(dāng)硅片從上料臺(tái)入片經(jīng)過測(cè)量系統(tǒng)時(shí),會(huì)被這6個(gè)。模組分別檢測(cè)、對(duì)比,是否達(dá)到設(shè)定的要求,然后根據(jù)所測(cè)量的數(shù)值分選到對(duì)應(yīng)的倉盒里面,最終將硅片分選出不同的等級(jí)。
2、分選機(jī)的常見故障及解決方法
當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí),我們可以在“Errors”窗口中查看當(dāng)前的錯(cuò)誤信息,可以在“Protocol”窗口中查看所有被確認(rèn)以及未被確認(rèn)的錯(cuò)誤信息,以上這些信息都按時(shí)間先后順序進(jìn)行排列。
1) 厚度部分
值(TTV)偏高:硅片碎裂殘留在厚度傳感器上;電氣系統(tǒng)缺陷;布線缺陷。值(TTV)偏低:外側(cè)傳感器位置錯(cuò)誤。TTV值顯示為0:供電電源被關(guān)閉。
2) 線痕部分
無法在軟件窗口中觀察到白色激光圖像:如果正在檢修設(shè)備,請(qǐng)確認(rèn)是否已經(jīng)關(guān)閉電源,例如按下了紅色的急停按鈕;檢查軟件設(shè)置;控制相機(jī)間寬度的馬達(dá)運(yùn)動(dòng)到了錯(cuò)誤的位置;檢查激光器是否正常工作;檢查激光器供電狀態(tài);檢查相機(jī)功能是否正常;檢查連接相機(jī)與電腦的數(shù)據(jù)線是否損壞;檢查電腦內(nèi)部火線適配器是否正常工作。
硅片邊緣不可見:檢查傳送系統(tǒng)的速度設(shè)置;線痕測(cè)量值偏高;相機(jī)鏡頭未對(duì)焦準(zhǔn)確;激光在硅片上的測(cè)量位置太靠近邊緣。
3) 臟污部分
無法在軟件中觀察到圖像:檢查光源。
始終較差的質(zhì)量:光源亮度偏暗;錯(cuò)誤的相機(jī)設(shè)置(如對(duì)焦);錯(cuò)誤的硅片位置;硅片碎落在下方相機(jī)鏡頭上。
4) 翹曲/幾何尺寸部分
無法在軟件中觀察到圖像:檢查LED光源是否工作正常。
始終較差的質(zhì)量:光源亮度太暗;錯(cuò)誤的相機(jī)設(shè)置(如對(duì)焦);錯(cuò)誤的硅片位置。
自動(dòng)分選機(jī)的保養(yǎng)方案
一、潤滑、堅(jiān)固(適用于專業(yè)維修人員);
1、每月至少檢查一次非免維護(hù)軸承的運(yùn)行狀態(tài),并用相應(yīng)標(biāo)號(hào)的潤滑油或潤滑脂進(jìn)行潤滑或更替;
2、每月至少檢查一次機(jī)器各連接件之間的堅(jiān)固狀態(tài); 具體參照點(diǎn)檢表。
二、清潔
1、每月至少徹底清冼一次輸送帶、鏈板、機(jī)身;
2、每月至少清潔一次各傳動(dòng)部件間的油污、雜質(zhì);
三、調(diào)整、更換
1、每月需要檢查各可調(diào)節(jié)、活動(dòng)傳動(dòng)部件的行程及間隙是否符合標(biāo)準(zhǔn)、必要時(shí)作出調(diào)整;
2、按點(diǎn)檢表時(shí)間安排:月份、季度、年份需要更換的損耗件進(jìn)行更換;
四、防護(hù)
1、設(shè)備的日常使用嚴(yán)格遵循安全使用規(guī)程;
2、完善的維保人員培訓(xùn)機(jī)制;
3、機(jī)器長期閑置的應(yīng)該進(jìn)行清冼并做出設(shè)備常規(guī)保養(yǎng)后用合適的包裝物料封存。